粒子大小/计数技术

       目前有许多颗粒表征技术被用来测量CMP 浆体中颗粒的大小和浓度。光散射技术包括动态光散射（DLS）和激光衍射可以测量分布的大小和宽度，但不能提供任何有用的浓度信息。单粒子光学传感技术（SPOS）测量一个粒子通过狭窄的测量室，提供精确的尺寸和浓度（粒子/ml）结果。由于粒子是单独测量的，这项技术天生就具有很高的分辨率，甚至可以从主要分布中检测到很少的单个粒子。因此，它是检测LPC 的理想技术，而LPC 是CMP 浆料中

最麻烦的。

       有些仪器zui好在实验室中使用，而另一些仪器，如SPOS，可以在实验室和在线使用点同时使用。