Park NX-Hivac可使故障分析工程师在高真空环境中提高AFM测量的灵敏度和重复性。由于高真空测量比一般环境或干燥的氮气条件下具有更高的精确性、更好的重复性、更少的针尖和样品损伤，用户可以在各种失效分析应用中测量更广泛的信号响应范围，例如扫描扩展电阻显微镜SSRM的掺杂浓度。