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椭偏仪

 
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Accurion RSE 快速晶圆检测
  • 品牌: Park原子力显微镜
  • 型号:Accurion RSE
  • 产地:韩国
  • Accurion RSE光谱型参比椭偏仪光谱型参比椭偏仪(RSE), 设计用于质量控制中的高速厚度mapping。它可以精 准测量0.1 nm至10µm的厚度。每秒记录200个完整的光谱,可以在12

Accurion EP4 成像椭偏仪
  • 品牌: Park原子力显微镜
  • 型号:Accurion EP4
  • 产地:韩国
  • Accurion EP4成像椭偏仪Accurion EP4成像椭偏仪EP4是新一代的成像椭偏仪,它有机地结合了传统光谱椭偏仪和光学显微镜技术。这使得我们能够在小至1µm的微结构上以椭偏仪的灵敏度表征

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