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椭偏仪和光谱反射仪的区别
发布:致东光电科技(上海)有限公司浏览次数:3884光谱 椭偏仪 (SE) 和光谱反射仪 (SR) 都是利用分析反射光确定电介质,半导体,和金属薄膜的厚度和 折射率。 两者的主要区别在于椭偏仪测量小角度从 薄膜反射的光, 而光谱反射仪测量从薄膜垂直反射的光。
入射光角度的不同造成两种技术在成本,复杂度,和测量能力上的不同。 由于椭偏仪的光从一个角度入射,所以一定要分析反射光的偏振和强度,使得椭偏仪对超薄和复杂的薄膜堆有较强的测量能力。 然而,偏振分析意味着需要昂贵的精密移动光学仪器。
光谱反射仪测量的是垂直光,它忽略偏振效应 (绝大多数薄膜都是旋转对称)。 因为不涉及任何移动设备,光谱反射仪成为简单低成本的仪器。光谱反射仪可以很容易整合加入更强大透光率分析。
从下面表格可以看出, 光谱反射仪通常是薄膜厚度超过10um的,而椭偏仪侧重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之间,两种技术都可用。 而且具有快速,简便,成本低特点的光谱反射仪通常是更好的选择。
光谱反射率 光谱椭圆偏振仪 厚度测量范围 1nm - 1mm (非金属)0.5nm - 50nm (金属)*0.1nm - 0.01mm (非金属)0.1nm - 50nm (金属)测量折射率的厚度要求 >20nm (非金属)5nm - 50nm (金属)>5nm (非金属)>0.5nm (金属)测量速度 ~0.1 - 5 秒每次测量 ~1 - 300 秒每次测量 操作人员培训 否 绝大多数测量要求有经验 包含移动部件 否 有 – 精密光学移动部件 基本系统价格 ~$13K ~$40K 2018-05-28相关仪器 -
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