半导体行业应用速递（上）｜近红外光谱法快速分析蚀刻液中混酸含量

某铜蚀刻液——由 H₃PO₄、H₂SO₄、HNO₃ 和HF 四种高纯酸混合而成。

DS2500 近红外光谱液体分析仪

使用一批样品分别建立 H₃PO₄、H₂SO₄、HNO₃ 和 HF 含量的定量分析模型。

使用上述近红外分析模型测量8个盲样, 每个盲样测量两遍，所得结果与参考值十分接近，且重复性很好。

在实际工业生产过程，上述四项指标的常规分析操作十分繁琐，无法满足快速检测的要求。

而近红外光谱法分析该四项指标仅需一分钟，且无需使用任何化学试剂，也无需对样品进行前处理，可以节省大量的人工和成本，是一种绿色环保的高效分析方法。