立式气氛管式炉 核心参数
| 仪器分类: | 管式炉 | 稳定性: | 控温精度：±1 |
| 最高温度: | 1200℃ |
详细介绍
设备名称：立式气氛管式炉
设备用途：该设备主要用于晶圆材料镀膜、退火等领域；
二、主要结构、功能
管式炉主要由不锈钢水冷密封法兰、加热炉温区、物料托架、手动升降装置、以及电控部分组成。具体见上图所示：
1.物料放置
由 4 支不锈钢管支撑物料，通过搅动手动升降手柄，将物料升至炉膛内部，再通过卡箍将托架与下部法兰进行密封；底部法兰装置石英进气导管，可将气体直接通入物料下方；
2.加热温区
加热温区总成 200mm，恒温区长度约 100mm，炉膛材料采用高纯聚晶氧化铝纤维制成，保温性能好。
序号 | 类 型 | 报价设备技术指标 |
1 | 炉体尺寸 | 约500*1360*760mm（以实际为准） |
2 | 炉管尺寸 | Φ120mm*500mm（内径114mm） |
3 | 工作温度 | ≤1150℃ |
4 | 温区长度 | 200mm（恒温区100mm） |
5 | 升温速率 | 建议10℃/min |
6 | 加热元件 | 掺钼的铁铬铝合金加热丝 |
7 | 炉膛材料 | 轻质氧化铝纤维保温耐火材料 |
8 | 控温精度 | ±1℃ |
9 | 极限温度 | 1200℃ |
10 | 加热温区 | 单温区 |
11 | 操控模式 | 7"真彩触摸屏操控，智能模糊 PID 控制 |
12 | 温度曲线设置 | 可预存15条温度曲线，每条曲线可设置30段" 时间—温度曲线"； |
13 | 温度曲线记录 | 实时监控，动态真实显示“时间-温度曲线” |
14 | 测温元件 | K 型热电偶 |
15 | 保护设置 | 超温报警，过流保护，断偶提示 |
16 | 电气认证 | CE 认证 |
17 | 电气规格 | AC220V 50Hz 2KW |
18 | 放料装置 | 手动升降托架 |
19 |
随机产品配置 | 炉管1根;不锈钢水冷法兰1套;密封圈1套；随机工具；说明书1份等。 |
20 | 服务项目 | 免：运输费，保险费，包装费； 提供 12 个月质保，终身保修 |
产品优势
设备用途：该设备主要用于晶圆材料镀膜、退火等领域
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