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立式气氛管式炉
- 品牌：河南诺巴迪
- 型号： NBD-LT1200-120TI
- 产地：河南 郑州
- 供应商报价：面议
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河南诺巴迪材料科技有限公司
更新时间：2025-01-15 14:10:50 -
销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照已审核
- 同类产品1200℃管式炉(17件)
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- 立式气氛管式炉 核心参数
产品特点
- 设备用途：该设备主要用于晶圆材料镀膜、退火等领域
详细介绍
设备名称：立式气氛管式炉 设备用途：该设备主要用于晶圆材料镀膜、退火等领域；
二、主要结构、功能
管式炉主要由不锈钢水冷密封法兰、加热炉温区、物料托架、手动升降装置、以及电控部分组成。具体见上图所示：
1.物料放置
由 4 支不锈钢管支撑物料，通过搅动手动升降手柄，将物料升至炉膛内部，再通过卡箍将托架与下部法兰进行密封；底部法兰装置石英进气导管，可将气体直接通入物料下方；
2.加热温区
加热温区总成 200mm，恒温区长度约 100mm，炉膛材料采用高纯聚晶氧化铝纤维制成，保温性能好。
序号
类 型
报价设备技术指标
1
炉体尺寸
约500*1360*760mm（以实际为准）
2
炉管尺寸
Φ120mm*500mm（内径114mm）
3
工作温度
≤1150℃
4
温区长度
200mm（恒温区100mm）
5
升温速率
建议10℃/min
6
加热元件
掺钼的铁铬铝合金加热丝
7
炉膛材料
轻质氧化铝纤维保温耐火材料
8
控温精度
±1℃
9
极限温度
1200℃
10
加热温区
单温区
11
操控模式
7"真彩触摸屏操控，智能模糊 PID 控制
12
温度曲线设置
可预存15条温度曲线，每条曲线可设置30段"
时间—温度曲线"；
13
温度曲线记录
实时监控，动态真实显示“时间-温度曲线”
14
测温元件
K 型热电偶
15
保护设置
超温报警，过流保护，断偶提示
16
电气认证
CE 认证
17
电气规格
AC220V 50Hz 2KW
18
放料装置
手动升降托架
19
随机产品配置
炉管1根;不锈钢水冷法兰1套;密封圈1套；随机工具；说明书1份等。
20
服务项目
免：运输费，保险费，包装费； 提供 12 个月质保，终身保修
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技术文章
| 稳定性 | 控温精度：±1 | 最高温度 | 1200℃ |
沪公网安备 31011502008050号