旋涂基片尺寸太厚怎么办？

问题：

      我们使用的基片厚度一般为7mm左右，资料里说只能是0.1-1.0 mm，我们的片子能否达到应有的转速及稳定性能？高速旋转下，气爪能否卡牢？

回复：

       一般我们需要详细了解您的7mm基底的尺寸和材质以及由此所决定的重量。重量超出额定负载范围太多，有可能导致马达的旋转精度被损伤，那样的话就很麻烦，必须要返回原厂校准。对于400B-6NPP/Lite来说，我们用以参考基底材料是150mm的直径，1mm的厚度的标准晶圆片。

如果您确实需要旋涂基底确实很厚重，需要选择HPD高性能的马达。总之请详细说明您的7mm基底的尺寸，材质和重量，我们才能给您推荐配置。