主要特点：
1. 配备加速电压减速功能，的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达1.1nm
2. 日立ZGE×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品
3. 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
4. SE与BSE任意比例搭配功能

应用领域：
1. 纳米材料
2. 半导体器件
3. 高分子材料
4. 生物医学
5. 新能源