自动化: | 自动 |
高频等离子表面处理装置
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型,DP和RIE标配的双模等离子清洗机,可对应更多复杂工艺.
● 标准配备电离式真空计,实时显示真空度,使得控制更为精确。
● 液晶触摸屏控制,操作使用简单,调取数据简单。
■ 安全性·保护
● 标准配备真空泄漏检测功能,可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器,以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路:超负荷或者RF发生器发生问题时,可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关:门在未完全关闭时无法启动电源。
● 侧板锁:本体侧板突然打开或者未关好时,会停止电源。
● 紧急停止按键(EMO)标准配备。
● 当装置发生异常时,装置本体发出警告信号的同时,进行以下动作1)关闭主阀。(2)关闭供气阀。(3)停止输出振荡器。(4)停止处理时间。(5)声光报警
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
●DP&RIE双模处理,可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器,高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密,有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。
■ 技术规格
型号 | V1000 | |
方式 | DP&RIE双模标准装备 | |
性能 | 发生器功率: | 0-1000W |
发生器频率: | 射频RF13.56Mhz | |
发生器匹配方式: | 自动匹配(Auto matching) | |
构成 | 腔体材质: | 铝制腔体 |
腔体内尺寸: | 400×400×384mm 约61.4L | |
电极尺寸: | 300mm×300mm | |
反应气体: | 双路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体 | |
填充气体: | 一路氮气 | |
控制方式: | 全自动控制,5.7寸液晶触摸屏 | |
真空度显示: | 测量高真空的电离式真空计标准配备,实时显示腔体内真空度 | |
配管材质: | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
门: | 铰链门 | |
涂装颜色: | 标准色,白系 | |
外形尺寸: | W700×D800×H1600mm (高度含警报灯) | |
真空泵: | 无油干式真空泵 抽速100m3/hour,吸气口NW40,排气口NW25 | |
电源规格: | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量: | 约215kg | |
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套 |
■ 产品图纸
■ 设备安装图
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