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日本雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000
- 品牌：日本雅马拓
- 型号： V1000
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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浚和（上海）仪器科技有限公司
更新时间：2024-04-23 10:39:27 -
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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联系方式：揭先生181-21241052
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- 日本雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000 核心参数
- 详细介绍
高频等离子表面处理装置
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工艺.
● 标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单。
■ 安全性·保护
● 标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关：门在未完全关闭时无法启动电源。
● 侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。
● 紧急停止按键（EMO）标准配备。
● 当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动作1）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器。(4)停止处理时间。（5）声光报警
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器，高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。
■ 技术规格型号
V1000
方式
DP&RIE双模标准装备
性能
发生器功率：
0-1000W
发生器频率：
射频RF13.56Mhz
发生器匹配方式：
自动匹配（Auto matching)
构成
腔体材质：
铝制腔体
腔体内尺寸：
400×400×384mm 约61.4L
电极尺寸：
300mm×300mm
反应气体：
双路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体
填充气体：
一路氮气
控制方式：
全自动控制，5.7寸液晶触摸屏
真空度显示：
测量高真空的电离式真空计标准配备，实时显示腔体内真空度
配管材质：
SUS不锈钢以及特氟龙
门：
铰链门
涂装颜色：
标准色，白系
外形尺寸：
W700×D800×H1600mm （高度含警报灯）
真空泵：
无油干式真空泵 抽速100m3/hour，吸气口NW40,排气口NW25
电源规格：
3phase AC200V 50/60Hz 8A
重量：
约215kg
附属品
真空管件一套、真空转接接头一套
■ 产品图纸
■ 设备安装图
- 产品优势
- 高频等离子表面处理装置
| 自动化: | 自动 |
