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日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PR500
- 品牌：日本雅马拓
- 型号： PR500
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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浚和（上海）仪器科技有限公司
更新时间：2024-04-17 10:59:52 -
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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联系方式：揭先生181-21241052
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- 日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PR500 核心参数
- 详细介绍
低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制
内槽
硅晶圆灰化状态
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应
用途
● 大口径（Φ215mm）石英反应腔
● 小型一体化设计
规格：型号
PR500
PR510
等离子模式
DP模式，桶形
高频输出功率
Max500W
频率
13.56MHz
同调方式
自动协调
反应腔
石英Φ215×305mm
反应气体
2系统（O2／CF4）
控制
手动
触模屏自动控制
配管材质
不锈钢、特氟龙
外形尺寸
W438 x D520 x H760mm
参照规格书
重量
约60kg
参照规格书
电源
单相AC100V 9A
三相AC200V 8A
- 产品优势
- 低温等离子·经典桶型。
| 自动化: | 自动 |
