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艾锐斯科技(北京)有限公司
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光刻机

 
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DaLI无掩膜纳米光刻机
  • 品牌:艾锐斯
  • 型号:DaLI
  • 产地:北京 海淀区
  • 采用AOD激光操控技术,光斑定位精度优于1nm,高精度套刻对准,结构边缘超平滑,可轻松构建1微米以下线宽结构。 先进的AOD激光操控技术,使得DaLI具有超高的激光定位精度(优于1nm),超长的...