详细介绍
产品概述
Lumina-200独立式高分辨率光刻/对准器。 Lumina系列为电子，光电，MEMS和许多其他应用中的高分辨率，精确对准，接触和接近光刻提供了高质量，可靠且经济高效的解决方案。 它具有易于使用的界面，高精度的载物台，高性能的光学元件和较小的占地面积。
主要特点
高分辨率光刻
高精度对准平台
z先进的对准光学
精确的间隙控制
用户友好的PC控制
占地面积小
具有成本效益的设计
背面对齐可选
应用领域：半导体器件 *微机电系统 *光电子学 *高级包装 *电力设备
技术参数
手册X-Y-ɵ
带称重传感器的电动Z
移动范围： X和Y：1英寸
ɵ：10度
Z：0.25英寸
掩膜加载能力
5”口罩标准
其他尺寸可选
基板装载能力
4”标准
其他尺寸可选
对准 模式：接近、柔和、硬
对准光学
分割栏 5倍物镜，1到7倍变焦
2个独立的手动X，Y，Z显微镜移动 精细粗调
通过CCD相机成像
曝光系统
紫外线：汞灯，带有可选的G线或I线过滤器
紫外线灯功率：500瓦
紫外线均匀照射
电动紫外线灯移动
具有Microsoft Windows的基于PC的控制计算机
用户友好的控制软件 PC控制的CCD视频
紫外线灯曝光由电脑控制
占地面积：31英寸乘44英寸（780毫米乘1110毫米）
产品优势
机器掩膜防护工艺，提供完整的纳米压印解决方案
- 产品分类
- 品牌分类
- （法国）OZ Biosciences
- （日本）旭日
- （深圳）泓腾
- （德国）艾卡
- （德国）德国WIGGENS
- （韩国）韩国CURIOSIS
- （德国）德国Memmert
- （法国）菲利亚斯
- （英国）英国Nickel-Electro
- （澳大利亚）澳大利亚Labwit
- （美国）美国CDC
- （英国）英国IT-IS
- （法国）法国Elveflow
- （美国）美国Sonaer
- （德国）德国KNF
- （韩国）哈尼儿
- （日本）日本星崎
- （美国）美国Scientific Industries
- （英国）英国格兰特
- （新北）群达
- （高雄）台湾洛科仪器
- （韩国）芬托赛恩斯
- （德国）德国伯托
- （济南）拜尔贝斯
- （奥地利）Kilobaser
- （日本）卡库函特
- （荷兰）荷兰Phenospex
- （美国）兰瑟
- （德国）OLS
- （法国）兰尔荷洛基
- （德国）德国SPS-保罗
- （美国）耐洛奈克斯
- （浦东新区）上海润度
- （台北）亚克斯
- （日本）玛撒
- （美国）艾尔赛恩斯
- （意大利）厄瑞杜
- （美国）艾库刍尔
- （瑞典）瑟林克
- （美国）伊刃
- （美国）斯特洛比克
- （无锡）雷博
- （加拿大）耐诺赛斯
- （美国）恩格耐雷欣
- （意大利）斯堤克
- （美国）美国YES
-
仪企号
上海迹亚国际商贸有限公司
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