美国YES/Yield Engineering Systems

EcoClean是YES的一种小巧，高通量的下游等离子剥离/除渣解决方案，具有高蚀刻速率，并且对表面的损伤很小/可以忽略不计。最小化拥有成本，气体使用量和宝贵的工厂空间。

YES–G1000是并行电容性等离子系统，旨在提供ZJ的等离子模式灵活性。

将拥有成本降低30％以上，同时ZDCD地减少自动化大批量生产中的化学用量。将VertaCoat配置为适用于各种需要精确表面修饰，高产量和可靠性的应用。

YES-VertaCure是经过生产验证的自动真空固化系统，配备5区均匀温度控制和层流。与大气固化相比，该系统具有出色的薄膜性能，更高的产量和更低的CoO，并为晶圆级封装（WLP）应用的多种聚合物提供...

YES–PB系列是低颗粒烤箱设计和制造方面数十年经验的产物。 这些可靠的系统可完全去除残留的溶剂，均匀的温度分布，压力控制，干燥的惰性气氛以及对加热和冷却速率的精确管理。

YES-TA系列双功能HMDS原色和图像反转烤箱将先进的气相沉积技术带入研究实验室或学术环境。获得稳定的过程结果，同时ZDCD地减少成本高昂的有毒化学药品的使用。

具有原位等离子体的硅烷单层气相沉积系统

台式等离子剥离/除渣系统利用低频，下游和电容性等离子工艺。避免使用有毒的化学药品，以进行温和的“除垢”清洁以及强韧的光刻胶，聚酰亚胺和BCB的QL等离子体剥离。通过湿法工艺可获得更高的产量和可重复的结...