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YES-等离子清洗系统

品牌：美国YES
型号： YES–G1000手动等离子清洗系统
产地：美洲美国
供应商报价：面议

上海迹亚国际商贸有限公司更新时间：2025-05-12 10:57:41

销售范围售全国

入驻年限第6年

营业执照已审核

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YES-等离子清洗系统核心参数

样品腔尺寸	45.7245.7230.48	样品腔容积	63.7
射频功率	550

产品特点

YES–G1000是并行电容性等离子系统，旨在提供ZJ的等离子模式灵活性。

详细介绍

产品概述

YES–G1000对于清洁，剥离和表面改性，等离子体是有毒化学物质的有效替代品，并且在表面上没有残留溶剂。副产物是惰性的并且对环境安全。 G1000的工作频率为13.56MHz，用户可以从5种等离子模式中进行选择。各向异性模式包括RIE和有源离子阱；各向同性模式包括下游（无电子），有源和下游离子阱。

•13.56 MHz的射频等离子体
•低压环境
•下游侵蚀性等离子体
•温度监控器
•3个气体输入
•气体输入可包含更多深奥气
体，例如合成气，CF4和SF6