详细介绍
LEBO 旋涂仪 EZ6
规格参数：
1、旋涂基材6英寸或更小
2、包括三个真空旋转卡盘
3、用于手套箱的占地面积小
4、易于使用的触摸屏界面
5、可编程旋涂工艺
6、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料
7、耐化学腐蚀HDPE旋转碗
8、耐用的不锈钢机身，具有耐化学腐蚀的透明旋转盖
9、4.3”触摸屏界面
10、基板尺寸：从1厘米到6英寸晶圆
11、转速范围：100-12000 RPM
12、转速分辨率：1RPM
13、加速范围：空载100-30000 RPM / s
14、程序：10个旋转程序，每个程序有10个步骤
15、安全：真空联锁和旋转盖联锁
16、尺寸：270(W)*387(D)*258(H)
- 产品分类
- 品牌分类
- （英国）英国IT-IS
- （法国）法国Elveflow
- （美国）美国Sonaer
- （德国）德国KNF
- （韩国）哈尼儿
- （日本）日本星崎
- （美国）美国Scientific Industries
- （英国）英国格兰特
- （新北）群达
- （高雄）台湾洛科仪器
- （韩国）芬托赛恩斯
- （德国）德国伯托
- （济南）拜尔贝斯
- （奥地利）Kilobaser
- （日本）卡库函特
- （荷兰）荷兰Phenospex
- （美国）兰瑟
- （德国）OLS
- （法国）兰尔荷洛基
- （德国）德国SPS-保罗
- （美国）耐洛奈克斯
- （浦东新区）上海润度
- （台北）亚克斯
- （日本）玛撒
- （美国）艾尔赛恩斯
- （意大利）厄瑞杜
- （美国）艾库刍尔
- （瑞典）瑟林克
- （美国）伊刃
- （美国）斯特洛比克
- （无锡）雷博
- （加拿大）耐诺赛斯
- （美国）恩格耐雷欣
- （意大利）斯堤克
- （美国）美国YES
- （法国）OZ Biosciences
- （日本）旭日
- （深圳）泓腾
- （德国）艾卡
- （德国）德国WIGGENS
- （韩国）韩国CURIOSIS
- （德国）德国Memmert
- （法国）菲利亚斯
- （英国）英国Nickel-Electro
- （澳大利亚）澳大利亚Labwit
- （美国）美国CDC
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