真空泵有哪些密封要求如何防止漏油

真空泵在其工作压强下，应及时排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

真空泵不能在大气压下工作，需要预真空，有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。

真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。

一、机械密封装置；

1.动环和静环表面须光洁，不得有任何划伤，密封面的平面度保持 在0.87um之内。

2.水环真空泵密封装置处轴的径向跳动应小于0.03mm。

3.弹簧无裂纹、锈蚀等缺陷，弹簧两端面与ZX线的垂直度偏差应小于5/1000，同一机械密封中各弹簧之间的自由高度差不大于0.5mm。

4.动环和静环密封端面的瓢偏应不大于0.02mm，两端面的不平行度应不大于0.04mm。

二、 浮动环密封装置：

1.支承环和浮动环及轴上安装浮动环的部位，应光洁无损伤；浮动环和支承环的密封端面应进行涂色检查，要求接触良好。

2.浮动环同轴套的径向总间隙，一般为0.15-0.25mm。

3.文承环及轴套的径向间隙应四周均匀。

4.支承弹簧应无缺陷，同组浮动环支承弹簧的自由高度偏差，应不大于0.5mm。

机械真空泵漏油部位多在轴封、放油孔、油窗、油箱等处，主要原因是磨损时间过长，密封件损坏或装配不良，未压紧和上紧螺钉时用力不均而造成。发现某处漏油时，维修工作者和操作者应立即采取措施，不应习以为常，认为“小毛病”不伤大雅而听之任之。否则长此以往将引起泵漏气或损坏。漏油并不难解决，只须先放出泵油，拆开泄漏处以调换密封件即可。前已介绍过轴封漏的解决办法，对放油孔渗漏，可用铅板、橡胶纸板、耐油真空橡皮板等作成垫换上，对油窗等其他密封处漏油可同样处理。箱体本身掺漏较少见，多由砂眼引起，可使用环氧树脂等堵漏剂将其封死。