微透镜阵列的加工定制能力

       微透镜阵列是由许多形状相同的微米尺寸小透镜按一定规律排列而成的阵列，多数是按正方形排列。透镜阵列标准品包含正方形微透镜和六边形微透镜，子单元尺寸32μm-1500μm，焦距在0.8mm-50mm之间，微透镜阵列一般应用在高灵敏度成像、激光匀化、分束、波前传感、光束聚焦和准直等领域。微透镜又可以称为复眼透镜，Micro Lens Array。

       微透镜阵列的主要参数： 

       1. 微透镜的尺寸、材质 

       2. 微透镜的形状：柱透镜、球面镜、非球面透镜、非柱面透镜、像散透镜 

       3. 微透镜的排布：正方形阵列、六边形排布、啁啾排布，随机排布等各种排布 

       4. 微透镜的周期（子单元口径）、焦距、刻蚀深度（高度）、曲率半径 

       5. 面形：对于衍射元件，一般有连续面型和非连续面形（台阶型）两种结构，连续面型可实现消除色差，适用于宽波段系统成像、螺旋相位片等应用

       微透镜阵列的加工定制能力：

       多年的沉淀，让我们在掩膜板、刻蚀、微光学元件的面型工艺上积累了非常丰富的经验，通过标准化的设计、加工流程，通常只要一个月时间就可以让用户获得效果满意的定制产品。

       1. 微透镜的波段范围覆盖190nm~10600nm的范围，匹配各种常用激光器的波长。

       2. 不仅能够加工2~32台阶的台阶型微透镜，也能加工各种连续面型的微透镜。目前2台阶、4台阶、8台阶、16台阶和32台阶的工艺都已经非常成熟，衍射效率可以做到95%。对于连续面型结构，我们可以做到数值孔径：0.01~0.5，面形误差：<2%。

       3. 每个微小透镜/子单元的尺寸最小可以做到1um，通常在1~5000um，形状可以为圆形、正方形、长方形、六边形或其它用户指定的形状。

       4. 微透镜的材料一般选择玻璃、石英、锗、硒化锌（ZnSe）、硅、K9、氟化钙或PMMA等塑料材料。