-
认证会员 第 3 年
那诺—马斯特中国有限公司
认证:工商信息已核实
- 产品分类
- 品牌分类
-
仪企号那诺—马斯特中国有限公司
-
友情链接
-
公司新闻
-
ALD系统应用范围再次升级
发布:那诺—马斯特中国有限公司浏览次数:742随着NANO-MASTER专利技术的ICP源的深入应用,对于大面积的基片提供均匀高品质的薄膜生长得以实现。到目前为止,NANO-MASTER的ALD系统可以支持在任意尺寸的衬底上的扩展,这给显示和照明等领域带来好消息。
此外,NANO-MASTER同时具备粉末处理能力的扩展。这样,NANO-MASTER系统已经可以支持在任意尺寸和任意形状的固体上进行原子级生长。在应用选择方面,我们支持热ALD和PEALD系统的单独应用,同事也支持ALE/ALD双系统、IBE/ALD双系统、ALD/PECVD双系统、ALD/IBAD双系统等应用,以及ALD跟其它NANO-MASTER任意系统组成的Cluster系统,可以实现多工序工艺在不间断真空的情况下一步完成工艺。2022-07-18相关产品 -
免责声明
①本网刊载上述内容,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任
②若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi