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真空泵工作用油
发布:蒙天真空技术(上海)有限公司浏览次数:1804旋片泵提供不同的泵油(真空油)。通过使用适合于您工艺的泵油,可以显著提高泵的使用寿命。单一矿物油可覆盖多种应用,例如使用空气或惰性气体以及水蒸气的泵。复合蒸馏矿物油虽然可用于高要求的应用中,但是会造成化学腐蚀或等离子体离化。它适用于温度低于 120 °C 的情况。全氟聚醚 (PFPE) 具有化学惰性,适用于使用强腐蚀化学品的工艺,例如半导体和薄膜工业,以及氧气含量大于21%的介质。
图片
产品名称
属性
容量
适用产品
P3 矿物油
适用于抽吸空气、惰性气体和稀有气体的标准应用
适用于高运行温度最高95°C时使用
极低的蒸气压,可实现的极限压力1·10-3hpa
用于在50和60HZ的主电源中运行的泵
非腐蚀性气体排放
耐氧化
1L/5L/20L
Duoline,Unoline,
Henaline
and Unoline plus, OktaLine G
F3 全氟聚醚
35ml/40ml
/50ml/65ml
/250ml/1L
HiPace分子泵系列
真空泵油
Lubricant
Inland 45
0.5L
DuoLine
A120 烃油
适用于一般用途、非腐蚀性气体、低温启动的烃油
用于在50HZ的主电源中运行的泵
2L/10L/60L
Pascal
A200 蒸馏烃油
适用于轻微腐蚀性气体
耐受等离子体离子
低返流
用于在50和60HZ的主电源中运行的泵
1L/19L
Pascal
A102烃油
干燥和水蒸气抽吸
冷冻干燥
用于在50和60HZ的主电源中运行的泵
2L
Pascal
D1合成二酯基油
适用于抽吸空气、惰性气体和稀有气体的标准应用
适用于高运行温度最高120°C时使用
极低的蒸气压,可实现的极限压力5·10-2hpa
1L/5L/20L
Duoline, Unoline
Henaline OktaLin,OktaLine G,Hepta
阿皮松真空矿物油脂M型
不含硅酮
比硅酮油脂蒸汽压低
没有蠕动
25g
Pascal
A121烃油
用于在50和60HZ的主电源中运行的泵
耐酸和有机蒸汽
反复工作在大气压下
不能用于等离子刻蚀
高温下稳定抽气
1L
Pascal
A119烃油
用于在60HZ的主电源中运行的泵
用于非腐蚀性气体
1L
Pascal
TL 011真空泵油Lubricant
0.5L/1L
Henaline
F5全氟聚醚
适用于抽吸氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、BF3、HF、PO3、氟
适用于高运行温度最高120°C时使用
适用于具有<20m3/h抽吸能力的泵
极低的蒸气压,可实现的极限压力1·10-3hpa
0.5L/5L
OktaLin,OktaLine G,Hepta
F4全氟聚醚
适用于抽吸氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、HCL、BF3、HF、PO3、氟
适用于高运行温度最高120°C时使用
适用于具有<20m3/h抽吸能力的泵
极低的蒸气压,可实现的极限压力1·10-3hpa
1L
DuoLine、UnoLine
A300白矿物油
耐受等离子体离子
可用于路易斯酸和卤素气体抽气
低返流
用于在50和60HZ的主电源中运行的泵
高腐蚀性气体排气
1L
Pascal
A111烃油
高温环境稳定运行
在循环的过程中回收气体
对氧气敏感(不能频繁的在大气压下工作)
用于在50和60HZ的主电源中运行的泵
2L
Pascal
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