详细介绍
| 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 晶圆尺寸 | 技术项目 | 规格 |
| FIDIE 有线TC WAFER 9105 | 测温范围： | 0℃ 至 1100 ℃ (K 型TC) |
| 0℃ 至1800 ℃ (C 或 D 型TC) | ||
| 测温精度： | ±1.1℃ 或 ±0.4% (K 型TC) | |
| ±4.0℃ 或 ±0.5% (C 或 D 型TC) | ||
| 晶圆尺寸: | 2”, 4”, 6”, 8”, 12” | |
| 测温点数: | 1 – 34 (可定制） | |
| FIDIE 有线RTD WAFER 9107 | 测温范围： | -40℃ 至 250 ℃ |
| 测温精度： | ±0.1℃ @ 0℃ | |
| 晶圆尺寸: | 2”, 4”, 6”, 8”, 12” | |
| 测温点位: | 1 – 65 (可定制） | |
| FIDIE 有线光纤测温 WAFER 9109 | 测温范围： | -40℃ 至 420 ℃ |
| 测温精度： | ±0.5℃, @ -40~250℃ ±1.5℃, @ 250~420℃ | |
| 晶圆尺寸: | 4”, 6”, 8”, 12” | |
| 测温点位： | 标准 1-4; 或定制 | |
