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PLC——低成本的Wafer Mapping方案

发布:基恩士(中国)有限公司
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在半导体制造过程中,晶圆的存放检测是确保产品质量和生产效率的关键环节。而传统的解决方案往往存在这几个问题:


  • 晶圆存在斜插、叠片等情况导致在抓取过程中发生碰撞和破碎;

  • 通过IO触发采样,精度较低,出现误判等;

  • 人工复查消耗人力物力,使用CCD视觉检测成本太高


低成本解决方案

推出了【PLC KV-8000系列+光纤传感器】的低成本解决方案:

ü  PLC+光纤传感器即可完成全自动检测,成本较低;

ü  PLC准确读取传感器检测光量值,通过积分、滤波算法 (已封装完成),可以有效地识别斜片、弯片、叠片、空片等情况,容错率高;

ü  产品更换时,无需每个传感器分别设定,PLC可以直接修改传感器参数

低成本的Wafer Mapping解决方案已经成功应用于多家半导体企业,并获得了广泛的好评。



更多内容请点击资料了解

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2024-04-16
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