双频激光干涉仪

高灵敏度，不需要靶镜，非接触式测量 可测的微、小、轻、薄、黑、透、易变形、热表面 对被测物表面反射率无严格要求，可测“黑”表面 采用激光自干涉原理，测量结果可溯源 无外部光学器件，操作灵活方便...

采用双频激光，测量精度高 紧凑设计，适合外出服务携带 抗干扰能力强，大型机床长距离检测时也能保证稳定精准 自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 ...

满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求；双频激光干涉仪

专为光刻机配套开发的高精度测量系统；双频激光干涉仪，进口设备转国产化的优选产品