►仪器主体包含快速进样室, 分析腔室。
►分析腔室能够维持高真空环境;
►分析腔室中配备单色化Al Kα阳极X射线源、电子束中和系统、全自动五轴样品台、氩离子溅射枪, 仪器操控需要计算机及软件系统
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