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分析腔室能够维持真空环境; 分析腔室中配备单色Al Ka阳极X射线源、电子束中和系统、全自动五轴样品台、氩离子溅射枪、仪器操控需要计算机及软件系统。

以高分辨、极低温为特点， 专为高分辨光电子能谱应用打造； 采用了独特的结构设计，包括了分析腔、传样腔进样腔等多个核心功能区。