产品详细
高分辨-角分辨光电子能谱仪系统以高分辨、极低温为特点，专门为高分辨角分辨光电子能谱应用打造。系统采用了独特的结构设计，包括了分析腔、传样腔进样腔等多个核心功能区。
分析腔室，配置R200型电子能量分析器、单色化紫外光源、闭循环6轴样品台、传样机构及必要真空配件。分析室采用一体化设计，上部分传样，中间部分分析，下部分真空抽气。采用双层μ金属内衬结构进行磁屏蔽。
传样腔室，用于样品中转及退火。退火台上方配置氩枪，可原位氩离子清洁及退火。
进样腔室，用于从大气环境送入样品。该腔体具备与手套箱直接联通的功能。
具体参数
| 主分析腔体 | 采用SUS316L不锈钢腔体，并安装两层μ金属材质的内衬 |
| 样品点残余磁场 | 典型值≤5mGauss；最 优值≤1mGauss |
| 极限真空 | ≤5 ×10^-11 mbar（配置足够真空泵，并长时烘烤后） |
| 半球能量分析器 | R200型 |
| 电子平均半径 | 200 mm |
| 能量范围 | 0.5 eV ~ 1500 eV |
| 通过能 Ep | 1 ~ 200 eV，多个可选 |
| 能量分辨率 | ≤1.8 meV FWHM @ Ep = 2 eV，Ek = 9.1 eV |
| 角度分辨率 | ≤ 0.1°@ 0.1 mm光斑 |
| 透镜工作模式 | 传输模式、角分辨模式 |
| 角分辨模式 | ±15°，±7°，±3.5° |
| 采集模式 | 固定模式、扫描模式 |
| 样品台 | 开 (闭) 循环6轴低温样品台 |
| 最 低温度 | 典型值6K；最 优值4K |
| 制冷方式 | 开循环或闭循环制冷 |
| 线性移动 | XYZ三个自由度；位移范围可定制；最 佳精度2μm |
| 转动 | Polar、Azimuth、Tilt三个转动自由度；最小步长0.001° |
| 紫外光源 | VUV430-AF-MONO型 |
| 总光电子通量 | ≥1×10^14 phs/s |
| 适用气体 | 适用气体 He，Ne，Ar，Kr，Xe等 |
| 激励源 | 固态射频源 |
| 单色器 | 超环面镜光栅 或 双晶单色器 |
| 位移台控制 | 全马达驱动；PLC控制系统，PLC和计算机双界面控制 |
| 样品中转腔 | 采用316L不锈钢材质；可定制 |
| 中转腔基础功能 | 传存机构，进行样品中转传递和存样 氩枪，对样品进行氩离子刻蚀清洁 |
| 样品进样腔 | 采用316L不锈钢材质；可定制 |
| 进样腔基础功能 | 传存机构，进行样品快速进样、传递和多工位存储 与手套箱或Suitcase直连 |
| 烘烤系统 | 热风循环方式烘烤；最 高可达200℃ |
| 控制系统 | 真空实时显示、控制以及系统保护 |
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