苏州华萃直线驱动器CLSM35-100-H

产品详细

直线驱动器，采用波纹管密封，提供沿端口轴（Z轴）的线性运动。典型的应用包括定位光束线滤波器和调整溅射源。

具体参数

型号

CLSM35-100-H | LSM35-100-S

密封机制

波纹管密封

行程

100 mm | 100mm

通径

38 mm

安装法兰

双侧CF35-螺纹孔

可烘烤温度

200℃

使用温度

-20°C 到 150°C

漏率

< 1E -11 mbar*L*s-1

工作压力范围

1E-11 mbar 至 1000 mbar