苏州华萃紧凑型DUV激光系统

产品详细

整体技术指标：

• 采用Edgewave或Paladin激光器作为种子光源：波长355 nm；输出功率≥4 W；重复频率80MHz/120MHz；

• 采用倍频器，将种子光源重复频率增加6倍，达到480MHz / 720MHz（实际重频与种子光源相关）

• 采用KBBF晶体获得真空紫外激光

• 输出波长177.3nm（6.994eV）

• 在ARPES腔入口处，DUV激光平均功率≥20μW

• 对紫外光源进行有效聚焦，在ARPES系统中心处，光斑尺寸小于30μm