半导体制程控温

PTZL系列直冷型低温制冷机组使用温度-60℃，主要由制冷系统、冷凝回收系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷。冷凝回收系统包括蒸发盘管、回收储罐、制冷管道等组成。

PTZL系列直冷型超低温制冷机主要由制冷系统、换热系统、控制系统、箱体等组成，设计有快速制冷、恒温控制、化霜、冷媒自动回收等功能。

正压防爆型DLS系列低温冷水机组，主要由正压柜、制冷系统、循环系统、控制系统等组成。

风冷TCU，使用温度范围：5~常温，制冷量在1.5~1000kW之间。本产品适用于各类医药、化工、机械等领域的生产工艺冷源，塑料业的模具冷却、电镀业电镀槽冷却、超声波清洗液冷却。

PTLQ系列气体制冷机用于气体的降温与冷却，也可选择进行升温与恒温控制。气体通常为干燥的压缩空气或氮气、氩气等惰性气体。进气温度可以是常温的，也可以是高温的，经过气体制冷机降至目标低温。

PTLQ系列气体制冷机用于气体的降温与冷却，也可选择进行升温与恒温控制。气体通常为干燥的压缩空气或氮气、氩气等惰性气体。进气温度可以是常温的，也可以是高温的，经过气体制冷机降至目标低温。

PLS工业冷水机：使用温度范围：5℃~常温，制冷量在1.5~400kW之间。本产品适用于各类医药、化工、机械等领域的生产工艺冷源，塑料业的模具冷却、电镀业电镀槽冷却、超声波清洗液冷却。

PTXF系列高温循环器主要由加热循环系统、冷却系统（部分设备）、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。

PTHC系列高低温动态控温系统主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷，压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌。

PLS系列防爆高低温制冷机主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。

PTHC系列防爆高低温动态控温系统，设备采用隔离防爆形式，防爆等级EXdⅡCT4，防爆合格证号：GYB223946X。系统主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体、防爆柜等组成。

正压防爆型DLS系列低温冷水机组，主要由正压柜、制冷系统、循环系统、控制系统等组成。正压柜外壳采用2~3mm冷轧板焊接后整体喷塑，通气管道采用镀锌钢管，进出电缆采用穿板管接头和电缆引入压紧装置，柜体正

DLS低温冷水机，使用温度范围有-25℃~常温、-40℃~常温两种规格，最低温度下制冷量在0.5~50kW之间可供选择。该冷水机可选配辅助加热器，实现精确控温功能。外部设计可搭配蓄冷水箱，且水箱容量可