天津吉兆源

该射频电源整机功率密度高。支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式。可自定义配置脉冲信号，响应速度快，信号质量高。支持高速、高精度的调频功能。

高功率电源是新一代射频电源发生器，单台输出功率可达30KW。产品广泛应用于LCD、光伏等行业。典型应用包括溅射、PECVD和表面处理

是一种用于产生等离子体的装置，通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺，以及半导体刻蚀和薄膜设备的预处理反应和清洗等。

该匹配器能够提供快速、准确和可靠的阻抗变换。可变电容由电机驱动，电机通过计算主板控制。

完善的射频和离子源控制系统；快速达到放电稳定状态（10s以内）；中和器快速稳定（3s以内）；在导轨上移动，移动距离大于3米；法兰安装方便；配射频中和器。

40KHz中频电源提供一个40kHz的谐振开关模式的输出功率，具有增强的保护机制，其内部负载匹配输出可提供5KW到15kW。

静电卡盘电源可为半导体晶片转移所使用的静电夹盘提供稳定的功率输出。

该电源作为射频驱动等离子体系统的电源，主要应用于半导体领域。应用对象包括：刻蚀、PECVD、PVD等系统

该自动匹配器主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。

该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括：刻蚀、PECVD、磁控溅射、ICP等 。

该电源输出功率可达2500W到5000W ，频 率13.56MHz，标准正弦波。该系列电源具有功率输出精度高、稳定、可重复等优点。其固态设计使得该产品价格低、可靠性高。电源采用大屏幕液晶显示：设定功率...