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机械扫描部分 X/Y/Z轴驱动系统是步进马达 X轴和Y轴的zui高扫描速率是：1000mm/s zuida扫描范围：300mm×300mm X轴和Y轴的扫描精度：±0.25μm Z轴是由自锁...
认证会员 第 8 年
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