表面粒子计数器

界面颗粒再悬浮技术‌：采用先进界面技术，通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮，便于后续检测。 精度光学检测：基于激光光学传感器和光散射原理，实时捕获悬浮粒子的散射光信号，实现单个粒子尺寸