真空镀膜机的操作：一

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【导读】致研科技真空镀膜机的具体操作步骤。如左图，首先打开设备电源，然后操作手动按扭启动设备抽真空。接下来打开冷却水阀门（膜厚检测仪用），启动机械泵，打开箱体背部真空手动阀开始对箱体抽低真...

致研科技真空镀膜机的具体操作步骤。

如左图，首先打开设备电源，然后操作手动按扭启动设备抽真空。

接下来打开冷却水阀门（膜厚检测仪用），启动机械泵，打开箱体背部真空手动阀开始对箱体抽低真空。

当正空室在低真空度正常以后，对蒸发室抽高真空。

若需要对工件进行离子轰击，在蒸发室真空度10～1Pa范围内可进行。离子轰击电压可用控电柜面板上调节旋钮调节。轰击时，工件架必须匀速转动（转速由用户根据需要选择），以便对工件进行均匀轰击。若需较长时间进行离子轰击（轰击时间不应超过5min），或用手动充气阀进行充气，使真空度维持在10～1Pa范围内以行到Z佳效果。

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2004-11-13 09:23:03

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