真空镀膜机设备如何维护

来源：内容来源于网络浏览量：855次

【导读】　　真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空...

　　真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机设备中的扩散泵连续使用6个月以上，抽速就会明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
　　真空镀膜机设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
　　当真空镀膜机（真空镀膜设备）粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。将泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

仪器网-专业分析仪器服务平台,实验室仪器设备交易网,仪器行业专业网络宣传媒体。

2004-08-30 09:23:10

标签：

收藏(0) 赞(0) 踩(0)

随时了解更多仪器资讯，求购、招标、中标信息实时更新，厂商招商信息随时看。大量、齐全、专业的仪器信息尽在仪器网（yiqi.com）。扫一扫关注仪器网官方微信，随时随地查看仪器用户采购、招标需求！

您可能感兴趣

真空镀膜机漏气该如何检查2004-08-30 09:23:10

　　查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法，简称检漏，真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的，所以检漏
真空镀膜技术的原理在各大行业里的应用2004-08-30 09:23:10

　　1、真空镀膜机PVD是英文PhysicalVaporDeposition的缩写，中文意思是“物理气相沉积
选购真空镀膜机设备要注意什么？2004-09-08 09:23:08

对投资资金大的物品，我们在购买的时候都会很谨慎，那就要在购买前对所需准备做的工作细致了解，一台真空镀膜机并不
真空镀膜机真空泵选型2004-09-08 09:23:08

真空镀膜机真空泵主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE
模温机在真空镀膜机行业的应用介绍2004-09-21 09:23:02

如果想要让真空镀膜机达到高精度、高效率控制温度的目的，就必须配模温机。因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自
冷却水系统在真空镀膜机上作用2004-11-03 09:23:34

1、真空镀膜过程中会使用油扩散泵进行抽气，其过程中需要用循环水冷却系统进行冷却油蒸汽，为了防止返流的油蒸汽分
真空镀膜机的操作：一2004-11-13 09:23:03

致研科技真空镀膜机的具体操作步骤。如左图，首先打开设备电源，然后操作手动按扭启动设备抽真空。接下来打开冷却水
真空镀膜机启动前检查调试2004-11-13 09:23:03

?在启动致研科技定制的这台实验仪器真空镀膜机之前，需要先进行检查和调试，确保没有问题之后再进行接下来的操作。
致研真空镀膜机结构介绍2004-11-13 09:23:03

致研科技定制的这台真空镀膜机主要由控制箱、真空箱这两大部分组成。主体①控制箱主体②真空箱主体控制箱顶部接口①
致研真空镀膜机的维护2004-11-13 09:23:03

我公司最新定制的实验设备真空镀膜机是相关企业、研究所、大专院校进行生产和科研的理想设备。用户在使用时需要按照

版权与免责声明

①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布，观点仅代表作者本人，不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们立即通知作者，并马上删除。

②凡本网注明"来源：仪器网"的所有作品，版权均属于仪器网，转载时须经本网同意，并请注明仪器网(www.yiqi.com)。

③本网转载并注明来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。

④若本站内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱：hezou_yiqi