四探针电阻率测试仪的配置特点和技术参数

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【导读】四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要...

四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份测试架及四探针头组成。本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的ZL产品：“小游移四探针头”，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。

四探针电阻率测试仪如加配HQ-710E数据处理器，测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的Zda百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均。给测量带来很大方便。

四探针电阻率测试仪技术参数：

(1)测量范围：

可测电阻率：0.0001～19000Ω•cm

可测方块电阻：0.001～1900Ω•□

(2)恒流源：

输出电流：DC0.001～100mA五档连续可调

量程：0.001～0.01mA

0.01～0.10mA

0.10～1.0mA

1.0～10mA

10～100mA

恒流精度：各档均低于±0.05%

(3)直流数字电压表：

测量范围：0～199.99mV

灵敏度：10μV

基本误差：±(0.004%读数+0.01%满度)

输出电源：≥1000ΩM

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2004-08-12 09:23:07

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