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Diener 等离子蚀刻机 Tetra 8 RIE
- 品牌:Diener
- 型号: Tetra 8 RIE
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 上海尔迪仪器科技有限公司 更新时间:2024-04-29 09:17:49
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企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
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联系方式:邹良成021-61552797
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- Diener 等离子蚀刻机 Tetra 8 RIE 核心参数
- 详细介绍
特点:
·适用于8”以下样品的处理
·等离子蚀刻机,可实现快速且一致的样品表面刻蚀
·全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布
·电极水冷确保了样品的温度不会偏高
·工业Windows控制系统,多段程序控制功能,实现一键蚀刻功能
·适合于研究院、高校、研发等使用,也可小批量生产
规格
型号
TETRA 8 RIE
控制系统
基于软件WINDOWS 10的PC控制系统
程序存储
100套
工艺过程监控
二维折线图与数字实时显示
参数偏离值设定
初抽真空时间、进气量偏差值,实际功率输出值
报错功能
显示详细的报错信息
数据导入导出
USB/TCP IP
选程控制
Team viewer
工艺气路
两路进气通道(两路腐蚀性气体)
一路冲洗管路
一路泄气管路
流量计
MFC流量计
真空腔体
圆形不锈钢腔体腔体
尺寸:Φ280mm x D 127mm 约8L
腔体可做防腐
托盘
铝板、不锈钢板、硼硅玻璃
电极
RIE(蚀刻专用)电极配有气浴
电极水冷
冷却系统
冷却真空腔体和电极
发生器
13.56 MHz 0-600W 自动匹配
安全开关
门开关、皮拉尼开关、真空开关
真空压力计
2pcs 电容式真空计
外形尺寸(W×H×D)
1800mm×2200mm×1800mm
电源
AC 400 V / 50 - 60 Hz / 16 A
真空泵
防腐真空泵抽速不低于90 m³/h
分子泵排气速度
冷却系统
冷水机对真空腔体,电极进行冷却
- 产品优势
- 特点:
·适用于8”以下样品的处理
·等离子蚀刻机,可实现快速且一致的样品表面刻蚀
·全局的工艺气体通过气浴进气实现了均匀的气体分布
·电极水冷确保了样品的温度不会偏高
·工业Windows控制系统,多段程序控制功能,实现一键蚀刻功能
·适合于研究院、高校、研发等使用,也可小批量生产 - 技术资料
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