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TEG prober
- 品牌：深圳森美协尔
- 型号： Model TEG series
- 产地：广东 深圳
- 供应商报价：￥1
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深圳市森美协尔科技有限公司
更新时间：2021-04-07 19:05:39 -
销售范围售全国
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- 同类产品手动探针台(4件)
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产品特点
- 业界zui快的测试速度 超高的测试精度
稳定的测试结果 mult-probe card设计
0.1um精度的直线电机平台 自动清针，自动测针
极小的针痕损伤 全自动测试 详细介绍
面板TEG Prober 型号 TEG prober-G6 TEG prober-G8.5 外形 2850mm(宽)x2500mm(长)x2500 mm(高) 4000mm(宽)x3500mm(长)x2500 mm(高) 重量 约9700KG 约14200KG 电力需求 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max 可测试液晶屏尺寸 长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm 长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm 平台功能 Gantry结构 龙门式，可以选择双龙门 X-Y-Z轴运动行程 1850*1500 *58mm(X-Y-Z) 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) X-Y运动速度 0~600mm/s可调 探针规格 针卡 两套，可同时测试两个patten X-Y精度(最小移动量) 0.1um Pitch范围：定制 X-Y重复定位精度 ±1um 探针材质：钨or铍铜等 X-Y 轴驱动 直线电机+光栅尺 工作模式：可以单独测试，或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。 Z 运动速度 0~10mm/s可调 Z精度 0.25um 探针和TEG对位方式 坐标定位 Z重复定位精度 ±1um 测试过程中的二次视觉检测 Z轴驱动 伺服电机+光栅尺 探针和TEG的接触方式 自动接触 Z轴保护 电机自锁+机械限位保护 探针自动保护功能:edge sensor 和机械限位，可以根据panel厚度设定限位高度，点针的OD值可设。 样品台平整度 ±50um平整度 样品台涂层 防静电涂层 样品台高低温 Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) 光学特性 光路系统倍率： 5X ,10X ,20X，50X Objects 探针轴旋转行程 ±90° 放大倍率范围50X~ 500X 探针旋转精度 0.01° 聚焦 自动聚焦 旋转重复定位精度 0.03° CCD 200/500万像素工业相机 探针清洁 自动清针 光源 面背光、点背光、上光源 清洁后自动测针 光源亮度独立可调，面背光可选择分区控制 探针台漏电精度（安装针卡的情况） 100fA 以内（测试标准：给针卡任意针脚加压—5V~+5V，在不吹N2的情况下，空载测试漏电流<100fA）吹氮气N2辅助干燥(Recipe 可以设置是否开启N2且N2测试报告体现开N2与不开N2区别) 激光特性（选件） 激光系统 激光切割系统（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) 0-100% 激光波长 1064nm，532nm，355nm 光斑尺度 1.0um @100X object 测试能力 测试系统 两套 2.0um @50X object 半导体参数测试系统:2*HRSMU+4*MPSMU+CV 测试单元+高精度矩阵开关等 工作模式 One Shot/Burst/Continue 形状 可调节的矩形 TFT测试项目 Ion 控制 工作模式 自动测试，CIM通讯，实现数据的自动导入和输出 Ioff Vth 上下片 机械手或者流水线 Mobility CIM系统 有 Swing 减震 被动式减震系统，能够确保点针测试的稳定性 Resistance测试项目 Rs 工业PC 23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块 Rc (其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡 最大输送电压 ±200V 通讯接口 RS232/485/TCP/IPGPIB等 最大输送电流 ±1A 安全 整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作 电流测试分辨率 1fA（无需前置放大器） 紧急开关EMO 电压测试分辨率 0.5uV 限位sensor，运动平台和探针系统限位互锁 CV 测试频率范围 1kHz~5MHz Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) 接地单元电流宿能力 4.2A GNDU 应用方向 OLED/TFT-LCD Panel TEG 电学测试 特点： 业界最快的测试速度 超高的测试精度 稳定的测试结果 mult-probe card设计 0.1um精度的直线电机平台 自动清针，自动测针 极小的针痕损伤 全自动测试
沪公网安备 31011502008050号