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semishareSHCV-6 探针台
- 品牌:深圳森美协尔
- 型号: SHCV-6
- 产地:广东 深圳
- 供应商报价:¥1
- 深圳市森美协尔科技有限公司 更新时间:2021-04-07 19:05:39
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销售范围售全国
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品半/全自动探针台(2件)
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产品特点
- Si/SiC/GaN等晶圆测试 超高的测试精度和测试效率
大功率晶圆测试 便捷的仪器接入
(-80~200℃)高低温Chuck 半自动测试
20~4000X光学显微放大 可升级全自动测试
功能丰富的测试软件 可升级射频测试 详细介绍
半自动分析探针台 型号 SHCV-6 SHCV-8 SHCV-12 外形 860mm*850mm*700mm 880mm*860mm*750mm 1300mm*920mm*920mm 重量 约180KG 约250KG 约380KG 电力需求 AC220V,50~60HZ Chuck 尺寸 6英寸 8英寸 12英寸 X-Y轴行程 6*6英寸 8*8英寸 12*12英寸 X-Y轴移动解析度 0.1um X-Y轴重复定位精度 ±1um 移动速度 ≥ 50 mm/sec Z轴行程 10mm Z轴移动解析度 0.1um Z轴重复定位精度 ±1um Theta角度行程 ±10° Theta角度解析度 0.0001° 样品固定方式 多孔真空吸附,独立分区控制 切换样品功能 样品台快速拉出 结构 同轴高压设计,镀金,电学独立悬空,可作为背电极使用 针座平台 规格 O型平台,最多可放置8个针座 O型平台,最多可放置10个针座 O型平台,最多可放置12个针座 行程&调节方式 平台可以快速升降,行程6mm并带自动锁定功能 温控特性 温度范围 ﹣100~200℃ ﹣80~200℃ ﹣60~200℃ 温控精度 温度分辨率 : 0.01°C 加热电源 LVDC 低压直流 zuidi控温速率 ±0.1°C /小时 传感器 Pt100 制冷方式 液氮制冷或者压缩机制冷 软件功能 wafer map的编辑 光学特性 显微镜行程 2*2inch 仪器的接入 显微镜行程 1um 数据的采集和图像化显示 放大倍数 20-4000X 数据的分析 CCD像素 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) 差异数据的标定Ink mark 点针规格 点针精度 10微米/2微米/0.7微米 自定义Bin分 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm 自动测试 漏电精度 10pA/100fA 通讯接口:RS232/484TCP/IP/,GPIB等 接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA,SHV接口 大功率规格 配置 大功率kelvin样品台 减震 主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动 大功率夹具线缆 可选附件 射频测试 chuck快速拉出装置 mult-pin 分流探针 卡盘镀金 PCB板夹具 大功率保护模块(针座用) 激光修复 液晶热点侦测套装 保护红外光幕,防止人员误进入工作区,触发时interlock互锁 探针卡夹具 光强/波长测试接口部件 大功率仪器连接模块 屏蔽箱 高低温样品台(-80~200℃) 最大测试电压 10KV 加热台 显微镜倾仰装置 最大测试电流 500A(脉冲) 应用方向 晶圆测试,功率器件半自动测试 特点: Si/SiC/GaN等晶圆测试 超高的测试精度和测试效率 大功率晶圆测试 便捷的仪器接入 (-80~200℃)高低温Chuck 半自动测试 20~4000X光学显微放大 可升级全自动测试 功能丰富的测试软件 可升级射频测试