-
-
Etchlab200 德国Sentech 经济型反应离子刻蚀机(可升级)
- 品牌:德国Sentech
- 型号: Etchlab200
- 产地:欧洲 德国
- 供应商报价:面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-08-17 10:19:23
-
销售范围售全国
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品德国 Sentech(18件)
立即扫码咨询
联系方式:13538131258
联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!
-
为您推荐
产品特点
- Etchlab200 德国Sentech 经济型反应离子刻蚀机(可升级),经济型刻蚀机应用范围:硅、硅化物、III-V族化合物半导体、电介质和金属等材料。直接装片型、可升级、在线监控、大尺寸观察窗、远程操作。
详细介绍
经济型刻蚀机应用范围:硅、硅化物、III-V族化合物半导体、电介质和金属等材料。直接装片型、可升级、在线监控、大尺寸观察窗、远程操作。
Cost-effectiveness 经济实惠
反应离子刻蚀机 Etchlab 200采用直接装片的平行板式等离子源设计。
Upgradeability 升级能力
Etchlab 200可方便升级,包括抽速更大的真空单元、预真空室及附加气路等。
SENTECH control software SENTECH控制软件
控制软件包括模拟用户界面,参数窗口,工艺程序编辑器,数据记录和用户管理。
Etchlab 200 RIE 刻蚀机是直接装载晶圆片等离子刻蚀设备,兼有平行板电极的优势。
Etchlab 200可以简单快速的装载直径200或300mm的晶圆片到载片盘或电极上,具有灵活、模块化和小型化的设计特点。上电极顶部有大尺寸观察诊断窗口,同时反应器能方便的容纳SENTECH激光干涉仪或者OES、RGA系统。
可以使用SENTECH椭偏仪通过专用的椭偏仪端口进行在线工艺监控。
Etchlab 200适用于可以直接装载的晶圆片刻蚀,包括硅、硅化物、III-V族化合物半导体、电介质和金属等材料。
Etchlab 200可以通过SENTECH控制软件界面进行远程操作。
您可能感兴趣的产品
- Etchlab200 德国Sentech 经济型反应离子刻蚀机(可升级)
- Etchlab200 德国Sentech 反应离子刻蚀机(可升级)
- 德国SENTECH ICP等离子/ RIE反应离子刻蚀机
- 德国 Sentech SI 500 D 等离子沉积机
- ICP-RIE SI 500 德国Sentech等离子刻蚀机
- 德国 Sentech SI 500 PPD等离子沉积机
- 德国Sentech等离子刻蚀机 ICP-RIE SI 500
- 德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机
- 德国 Sentech SI 500 PPD等离子沉积机
- 德国 Sentech SI 500 D 等离子沉积机
- PE-ALD 德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机
- NMC ICP反应离子刻蚀机