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智能型多功能椭偏仪Smart SE

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详细介绍

仪器介绍:

多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。

技术参数:

光谱范围:450-1000nm

多种微光斑自动选择

ZL光斑可视技术,可观测任何样品表面

CCD探测器

自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向

自动调节; Z轴高度>35mm

主要特点:

一键式操作,直接报告输出

液晶调制技术,测量光路中无运动部件

CCD 探测系统,快速全谱输出

多个微光斑尺寸选择,ZL可视技术

多角度测量

可实现在线测量配置


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