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GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪
- 品牌:沈阳科晶
- 型号: GSL-1100X-SPC-16-3
- 产地:辽宁
- 供应商报价: 面议
- 沈阳科晶自动化设备有限公司 更新时间:2024-04-24 08:15:54
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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- 详细介绍
GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶,旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。
主要特点
1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。
2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得**镀膜效
果。
3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。
6、已通过CE认证。
技术参数
1、靶:Φ45mm
2、真空室:Φ160mm×120mm
3、最高真空度:≤4×10-2mbar
4、靶位:3个
5、最大电流:50mA
6、可设定最长时间:900s
7、微型真空气阀:连接Φ3mm软管
8、最高电压: 1600V DC
9、机械泵:2L/s
标准配件
1、金靶材
2、银靶材
3、铝靶材
4、进气针阀
5、保险丝
可选配件
金、铟、银、铂等各种靶材
- 技术资料
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- GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪
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