TMC混合压电陶瓷主动隔振系统Stage-Base450

为了满足放置在振动隔离系统上的半导体设备严格的隔振要求，TMC继续推进技术进步来开发新的解决方案。 Stage-Base 450是专门设计用于具有高精度电动x-y平台的先进半导体工具的主要振动隔离系统。这种仪器需要非常高效的振动隔离，同样他们也要求通过快速设置移动平台来减小负载从而极大的提高隔振效率。由于用于快速设置调节时间来进一步增加隔振效率的前馈控制音圈电机的加入，使其成为用于运动平台应用的zuixianjin的主动振动和运动隔离系统。