TMC用于SEM的主动振动消除地面式平台

特色：

• STACISZG技术

• 主动惯性振动消除系统

• 895×1124×160 mm（35.25×44.25×6.3 in.）适合绝大多数商业SEMs

• 负载能力：408-1134 kg（900-2500 lb.）     

• 隔振效率1Hz：40-70%

        隔振效率2Hz：90%

        隔振效率>3Hz：90-98%

• 6个主动自由度

• 安装容易，调谐简单

• 兼容所有设备内置的振动隔离系统

• 电源：100-240VAC，50/60Hz，<600W

• 是否需要空气：非气浮系统

• CE与RoHS认证

• 完全集成式的单平台设计

• 可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运

• 兼容SEM-Lift系统

SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM-Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子束显微镜（FIB）及小型双光束设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器，带有高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。

SEM-Base VI采用独特串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有最大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术，SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。

相比于之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式双核处理器，为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面，可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时，DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面，无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的板载式菜单驱动液晶屏（LCD）直接进行控制。