基于STACIS®的主动压电隔振系统应用案例

【概述】

 为什么选用主动的隔振控制系统？

ü 优越的低频隔振效率。（具体效率请见红蓝隔振曲线图）

ü 主动“Hard-Mount”架构提供了比被动气浮隔离器快10倍的稳定时间。（黑色稳定速度曲线图）

ü 避免气浮系统重力不稳定的风险。

ü 可以与任何设备自带的隔离系统“堆叠串联”。

通常情况下一套STACIS®隔振系统由3或4个隔振器加上数字控制器组成：

每个隔振器有三种负载能力的版本可供选择:

– 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)

– 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)

– 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)

对于尺寸较大的平台系统，可以将多个STACIS系统组合为一个操作系统来实现整体的隔振。

STACIS III 通常会配置层压钢板平台和底座支架来调整适配高度。

两种典型的配置方式：

• 安装在混凝土地板上：普通实验室环境， 通常可以为需要获得极低的系统高度时做特殊设计。

• 安装在高架地板上：通常应用于洁净室中。

 应用案例：

 1.附带Lift hood 的STACIS 2100：应用于UHV-STM超高真空扫描隧道显微镜

• 配置3-Mount STACIS系统

• 有效降低总体高度的left-hood设计

2.应用于CAMECA LEAP 4000X扫描探针显微镜

• 带有层压钢板和Lift Hoods

• 4-Mount STACIS系统

3. 应用于FEI Titan G2 TF30和Titan 80 TEM

• 4-mount STACIS系统

• 配置升高支架

4.应用于FEI Titan Cubed TEM立方透射电镜

• 7-Mount STACIS 系统

• 4- Mount嵌套式平台设计，更好地隔离电镜隔音外壳的共振。

3- Mount 主动HT Tank隔振，大限度的减少通过电缆传导到主机的地板振动

6. 针对SEM的集成版产品-STACIS IX SEM-Base

• 一款采用STACIS技术、结构紧凑、性价比高的SEM解决方案

• 适用于大多数SEM设备

• 不干扰电子显微镜内部隔离器的工作

• 安装时配置TMC的SEM-Ramp和SEM-Lift，便捷就位。

7.主动&被动串联隔振产品-STACIS iX LaserTableBase

• 结合STACIS压电隔振在低频率的良好性能和Maxdamp气浮隔振在高频率的性能。

• 高低频隔振的串联使其隔振性能全频优越。

• 主动带宽0.6 Hz -150 Hz,  150Hz以上由气浮隔振接管。