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主动隔振台在电子显微镜中应用

广州市固润光电科技有限公司更新于：2016-07-26

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Herzan的AVI系列能使隔震频率实现Zda的分辨率在所有的六个维度，AVI系列可以实现亚赫兹的隔震性能在2Hz下可衰减90%的震动，在5Hz可衰减99%，在10Hz可衰减99.8% 主动隔振台主动隔振平台

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