采用LCD触摸屏,可以更加简便地设定加工条件
可处理较厚或较大的样品(选配件)
记忆功能可存储常用加工条件
详细介绍
产品介绍:
采用磁控型电极,zui大限度地减轻对样品的损坏。
特色
规格
项目 | 说明 | |
---|---|---|
放电 | 类型 | 磁控二极管放电型(电场垂直于磁场) |
电极组成 | 反向平行盘(嵌入磁铁) | |
电压 | zui大 0.4 kV DC(直流可变) | |
电流 | zui大 40 mA DC | |
喷镀速率 *1(zui大) [条件] 压力:7 Pa 放电电流:40 mA 标靶与样品表面之间的距离:20 mm | Pt 靶(选配件) | 15 nm/min |
Pt-Pd 靶(选配件) | 20 nm/min | |
Au 靶(选配件) | 35 nm/min | |
Au-Pd 靶(选配件) | 25 nm/min | |
样品尺寸 | zui大直径 | φ60 mm |
zui大高度 | 20 mm | |
机械泵 | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
靶材*2 | Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) | |
电源要求 | 单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m) | |
尺寸 | 宽度 | 450 mm |
长度 | 391 mm | |
高度 | 390 mm | |
重量 | 主机:约 25 kg 机械泵:约 28 kg |
*1: 喷镀速率仅供参考
*2: 主机内不包括靶材。请从选项中选择(铂,铂-钯,金,金-钯)。
产品优势
采用磁控型电极,ZD限度地减轻对样品的损坏。
- 产品分类
- 品牌分类
- (新加坡)Semicaps
- (美国)赛默飞世尔
- (荷兰)JIACO
- (日本)日本滨松
- (日本)SAMCO
- (苏州)蓝岸
- (日本)尼康
- (美国)若克兰
- (英国)微视
- (美国)SONIX
- (美国)美国Allied
- (美国)ASP
- (美国)Nisene
- (日本)日立
- (英国)英国ABERLINK
- (德国)德国werth
- (美国)美国福禄克
- (奥地利)奥地利EMCOTEST
- (日本)日本奥林巴斯
- (美国)美国OGP
- (德国)捷镭
- (美国)美国Akrometrix
- (朝阳区)微厘光电
- (德国)Microtronic
- (西青区)奥特梅尔
- (新加坡)AXIS-TEC
- (以色列)SELA
- (英国)牛津仪器
-
仪企号似空科学仪器(上海)有限公司
-
友情链接