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日本SAMCO RIE等离子蚀刻设备
  • 品牌: SAMCO
  • 型号:RIE-10NR
  • 产地:日本
  • RIE-10NR是一种新型的低成本、高性能、全自动反应离子刻蚀系统,能够满足非腐蚀性气体化学最苛刻的工艺要求。 计算机化触摸屏为工艺配方编程和存储提供了用户友好的界面。该系统可以实现精确的侧壁轮廓控制...

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