退火炉系列

快速退火炉LRTP-1200，采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热...

红外退火炉采用红外辐射加热技术同时搭配高精度温度控制系统，极大程度上改善了电阻式加热的弊病，同时可实现样品快速升温和退火。可广泛应用于强诱导体薄膜的结晶化退火、注入离子后的扩散退火、半导体材料的烧成与...

石墨烯退火炉 GRTP-1200，是根据石墨烯材料（氧化石墨烯、石墨烯复合材料等）独特的退火要求，专项研发出的一款快速退火炉。其采用红外辐射加热技术同时搭配高精度温度控制系统，进一步升级改进了样品装夹...