缺陷检测仪

ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统，它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合，可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图，可以...

Candela 8720缺陷检测系统集成了表面和光致发光(PL)检测技术，能够捕获各种关键的衬底和外延缺陷。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显着降低因外延缺陷导致的良率损失，最大限度地...

Candela 8520第二代集成式光致发光(PL)和表面缺陷检测系统专为SiC和GaN衬底和外延晶圆缺陷进行高级表征而设计。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显降低因衬底和外延缺陷而导...

Candela 8420是采用多通道探测技术的表面缺陷检测系统，可以在砷化镓 (GaAs)、磷化铟 (InP)、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石等不透明、半透明和透明化合物半导体材料晶圆上提供颗粒、划痕、...